Chemshunalumiinioksidikiekkojen kiillotuslevy/kääntöpöytä on valmistettu erittäin puhtaasta 99,7–99,9 % alumiinioksidista. Erittäin puhtaalla alumiinioksidikeramiikalla on erinomainen jäykkyys ja kulutuskestävyys kiekkojen kiillotuksessa, ja se säilyttää hyvän pinnan muodon pitkän aikaa. Sen on muotoillut PIBM. Se kuuluu puolijohdeteollisuuteen vertaansa vailla olevan lämpö- ja mittapysyvyytensä sekä mikrosirujen käsittelylaitteiden vaativien ympäristöjen kestävyytensä ansiosta.
Kemiallis-mekaaninen tasoitus (CMP), joka tunnetaan myös nimellä kemiallis-mekaaninen kiillotus, on puolijohdelaitteiden valmistusprosessissa käytetty tekniikka. Siinä käytetään kemiallista korroosiota ja mekaanisia voimia piikiekkojen tai muiden alustamateriaalien tasoittamiseen prosessoinnin aikana.
CMP-laitteet on jaettu pääasiassa kahteen osaan: kiillotusosaan ja puhdistusosaan. Kiillotusosa koostuu neljästä osasta: kolmesta kiillotuslevystä ja kiekkojen lataus- ja purkumoduulista. Puhdistusosa vastaa kiekon puhdistamisesta ja kuivaamisesta, jotta kiekko "kuivataan sisään ja ulos". Alumiinioksidikeramiikalla on tärkeä rooli koko kiillotuslaitteessa.
Alumiinioksidikeraamisia käytetään yleensä kiekkojen kiillotuslevyjen valmistukseen, joilta vaaditaan korkeaa puhtautta, korkeaa kemikaalien kestävyyttä sekä hyvää pinnan muodon ja karheuden hallintaa.
Chemshun 99,7 % Al2O3 -keraaminen hiomalaikka on valmistettu edistyneistä keraamisista materiaaleista, jotka soveltuvat erilaisten materiaalien hienojauhamiseen, erityisesti hauraiden materiaalien, kuten kiekkojen, keramiikan ja lasin, hiomiseen. Keraamista hiomalaikkaamme voidaan valmistaa eri kokoisina erilaisten hionta- ja kiillotusmallien mukaan.
Julkaisun aika: 30.5.2025